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    国内专利
    一种流态化化学气相沉积锆包覆层的系统及方法
    专利类别
    发明授权
    申请号
    CN201910619516.7
    申请日期
    2019/7/10
    第一发明人
    朱庆山; 向茂乔; 赵宏丹; 宋淼
    专利授权日期
    2021/5/4
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